[发明专利]经由一个供电级的多个插头线圈的控制有效

专利信息
申请号: 200880006697.6 申请日: 2008-02-25
公开(公告)号: CN101622442A 公开(公告)日: 2010-01-06
发明(设计)人: P·巴罗索;C·努瓦尔;N·梅西蒂 申请(专利权)人: 雷诺股份公司
主分类号: F02P9/00 分类号: F02P9/00;F02P23/04;F02P17/12
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 于 静;李 峥
地址: 法国布洛*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 发明涉及一种射频等离子体产生装置,该装置包含:电力供给电路(2),其包含由控制信号(V1)控制的开关(M),以便以控制频率将电压(Vinter)施加到控制电路的输出;至少两个等离子体产生电路(BB1,BB2,BB3,BB4),其并联连接到电力供给电路的输出,各个电路具有其自己的谐振频率,并能够在高电压等级以基本等于等离子体产生电路谐振频率的频率被施加到电力供给电路输出时产生等离子体;供电控制装置(5),其由等离子体产生电路的谐振频率(F1,F2,F3,F4)确定控制频率,以便根据所用控制频率有选择地控制各个电路。
搜索关键词: 经由 一个 供电 插头 线圈 控制
【主权项】:
1.一种射频等离子体产生装置,其特征在于包含:-电力供给电路(2),其包含由控制信号(V1)控制的开关(M),以便以由控制信号限定的频率将中间电压(Vinter)施加到电力供给电路的输出,-至少两个等离子体产生电路(BB1,BB2,BB3,BB4),其并联连接到电力供给电路的输出,各个等离子体产生电路具有其自己的谐振频率,并能够在高电压等级以大致等于等离子体产生电路谐振频率的频率被施加到电力供给电路输出时产生等离子体,-用于控制电力供给电路的装置(5),其由等离子体产生电路的谐振频率(F1,F2,F3,F4)中的一个确定控制信号的频率,以便根据所用控制频率有选择地控制各个等离子体产生电路。
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