[发明专利]用于分层加热器的高功率电气接头

摘要

具有非导电性外壳和在其中安装的弹簧支撑的导电组件的电气接头。该非导电性外壳具有纵轴，该弹簧支撑的导电组件可在沿该纵轴在任一方向上的有限范围内运动。该导电组件包括导电接触垫和导电延伸轴，它们在该非导电性外壳内匹配。沿接触轴并与之邻接安装的弹簧使该接触轴在远离该接触座的方向上偏移。当该电气接头被用于例如配合晶圆处理室的具有集成了分层加热器的室盖组件的室盖中时，该弹簧使该接触轴的下表面相对该加热器偏移。

主权项

1.具有限定了前后方向的纵轴(L)的处理室电气接头(200)，其包含：电绝缘接头罩(240)，其具有前表面(242)和后表面(246)；电绝缘轴套(250)，其沿该纵轴(L)延伸，并由该接头罩(240)的后表面(246)突出；电绝缘释放罩(210)，其沿该纵轴(L)延伸，并由该接头罩(240)的前表面(242)突出；导电接触轴(270)，其处于该轴套(250)中，该接触轴(270)具有终止于该接头罩(240)的后表面(246)之上的前端(270A)，以及配备了至少一个电接触垫(274)的后端(270B)；以及弹簧(260)，其占据了介于该导电接触轴(270)和该电绝缘轴套(250)之间的中空轴套腔(255)的一部分，该弹簧(260)使该接触轴(270)偏向向后的方向。