[发明专利]含镁ZnO系混合单晶及其层压体和它们的制造方法无效
申请号: | 200880008873.X | 申请日: | 2008-03-14 |
公开(公告)号: | CN101688325A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 关和秀幸;小林纯;大桥直树;坂口勲 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社;独立行政法人物质·材料研究机构 |
主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22;C30B19/02;H01L21/368;H01L33/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 根据本发明,可以提供含镁ZnO系混合单晶,其特征在于,其包含带隙(Eg)为3.30<Eg≤3.54eV的含有Mg的ZnO系半导体,且膜厚为5μm以上。另外,根据本发明,可以提供根据液相外延生长法制造含镁ZnO系混合单晶的方法,其特征在于,通过将作为溶质的ZnO和MgO与作为溶剂的PbO和Bi2O3(或者PbF2和PbO)混合并熔解,然后使基板与所得熔体直接接触,从而使含镁ZnO系混合单晶在基板上生长。 | ||
搜索关键词: | 含镁 zno 混合 及其 层压 它们 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种含镁ZnO系混合单晶,其特征在于,其包含带隙(Eg)为3.30<Eg≤3.54eV的含有Mg的ZnO系半导体,且膜厚为5μm以上。
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