[发明专利]用于产生电磁辐射的辐射源和用于产生电磁辐射的方法无效
| 申请号： | 200880009369.1 | 申请日： | 2008-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101657760A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | M·M·J·W·范赫彭 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于产生电磁辐射的辐射源(50)，包括阳极(1)、阴极(2)和放电空间(4)。所述阳极(1)和所述阴极(2)配置用以在放电空间(4)中的物质(P)内产生放电(16)以形成等离子体(16)，以便产生电磁辐射。所述辐射源(50)还包括燃料供给装置(14)，所述燃料供给装置构造并布置成将所述物质(P)的至少一种成分供给到所述放电空间(4)附近的位置处。所述燃料供给装置(14)设置成离开阳极(1)和阴极(2)一定距离。所述辐射源(50)还包括另一供给装置(10)，其构造并布置成在阳极(1)和/或阴极(2)上或附近产生和/或保持冷却和/或保护层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 电磁辐射 辐射源 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生电磁辐射的辐射源，所述辐射源包括：阳极；阴极；放电空间，所述阳极和所述阴极配置用以在所述放电空间中的物质内产生放电，以形成等离子体，以便产生电磁辐射；燃料供给装置，所述燃料供给装置构造并布置成将所述物质的至少一种成分供给到所述放电空间附近的位置处，所述燃料供给装置设置在离开所述阳极和所述阴极一定距离的位置处；和另一供给装置，所述另一供给装置构造并布置用以在所述阳极和/或阴极上或附近产生和/或保持冷却和/或保护层。
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