[发明专利]胶态二氧化硅及其制造方法有效
申请号: | 200880009708.6 | 申请日: | 2008-03-27 |
公开(公告)号: | CN101641288A | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 樋口一明 | 申请(专利权)人: | 扶桑化学工业株式会社 |
主分类号: | C01B33/141 | 分类号: | C01B33/141;B24B37/00;H01L21/304 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙 淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种金属杂质更少且致密的二氧化硅颗粒。具体而言,本发明提供一种胶态二氧化硅及其制造方法,该胶态二氧化硅为以硅酸烷基酯作为原料制得的胶态二氧化硅,其特征在于:在上述胶态二氧化硅的干固物中添加作为内标的聚二甲基硅烷1重量%,得到试样,对该试样测定固体29Si-CP/MAS-NMR谱时,由胶态二氧化硅峰面积/聚二甲基硅烷峰面积的计算式求得的峰面积值为15以下。 | ||
搜索关键词: | 二氧化硅 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种胶态二氧化硅,其为以硅酸烷基酯作为原料制得的胶态二氧化硅,其特征在于:在所述胶态二氧化硅的干固物中添加作为内标的聚二甲基硅烷1重量%,得到试样,对该试样测定固体29Si-CP/MAS-NMR谱时,由胶态二氧化硅峰面积/聚二甲基硅烷峰面积的计算式求得的峰面积值为15以下。
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