[发明专利]合成磨石有效
| 申请号： | 200880010099.6 | 申请日： | 2008-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101678533A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 吉田雄二;江田弘;周立波;剑持匡昭;田代芳章;神谷纯生;岩濑久雄;山下辉树;小竹登 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京钻石工具制作所;丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | B24D3/02 | 分类号： | B24D3/02;B24D3/00;B24D3/28;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭 煜;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供在硅晶片的磨削加工中使用的合成磨石，该合成磨石是含有作为磨粒的氧化铈微粒、作为结合剂的树脂、作为填充剂的盐类和作为添加剂的纳米金刚石的结构体，其特征在于：上述氧化铈的纯度为60重量％以上，作为填充剂的盐类的含有率在1％以上20％以下的范围，作为添加剂的纳米金刚石的含有率相对于结构全体的体积含有率在0.1％以上、低于20％的范围，且气孔率相对于结构全体，体积含有率在低于30％的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 磨石 | ||
【主权项】：
1.合成磨石，其是含有作为磨粒的氧化铈微粒、作为结合材料的树脂、作为填充材料的盐类和作为添加剂的纳米金刚石作为主要成分的结构体，其特征在于：上述氧化铈的纯度为60重量％以上，作为填充材料的盐类的含量相对于结构全体的体积含有率在1％以上、低于20％的范围，且作为添加剂的纳米金刚石的含量相对于结构全体的体积含有率在0.1％以上、低于20％的范围。
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