[发明专利]碱溶性树脂及含有该碱溶性树脂的负型光敏树脂组合物有效

专利信息
申请号: 200880010494.4 申请日: 2008-10-06
公开(公告)号: CN101646698A 公开(公告)日: 2010-02-10
发明(设计)人: 金韩修;金星炫;朴光汉;林敏映;许闰姬;刘志钦;金善花 申请(专利权)人: 株式会社LG化学
主分类号: C08F220/00 分类号: C08F220/00;C08F2/38
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司 代理人: 钟守期;唐铁军
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 提供了一种碱溶性树脂。该碱溶性树脂使用多官能硫醇化合物作为链转移剂而制得。所述碱溶性树脂具有比相同分子量的树脂更低的粘度。还提供了一种含有所述碱溶性树脂作为粘结剂用树脂的负型光敏树脂组合物。所述碱溶性树脂的使用降低了光敏树脂组合物的整体粘度,从而使用少量光敏树脂组合物即可有效降低光致抗蚀剂图案的阶跃部分的高度。
搜索关键词: 碱溶性 树脂 含有 光敏 组合
【主权项】:
1.一种碱溶性树脂组合物,其含有一种含酸基的单体、一种可与该含酸基的单体聚合的单体,和一种作为链转移剂的多官能硫醇化合物。
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