[发明专利]透明基板的端部检测方法和端部检测装置以及处理装置无效
| 申请号： | 200880010497.8 | 申请日： | 2008-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN101657696A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 铃木正彦 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G02F1/13;G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供透明基板的端部检测方法和端部检测装置以及处理装置。本发明的透明基板的端部检测装置包括：在透明基板(10)的端部的背面侧设置的光源(12)；设置在透明基板(10)和光源(12)之间，用于将来自光源(12)的光转换成直线偏振光的第一偏振片(13)；在透明基板(10)的端部的表面侧设置的受光部(15a)；和设置在透明基板(10)和受光部(15a)之间，并具有与第一偏振片(13)的偏光轴(Pa)正交的偏光轴(Pb)的第二偏振片(14)，受光部(15a)通过第二偏振片(14)观察由第一偏振片(13)转换并透过透明基板(10)的端部的直线偏振光、由第一偏振片(13)转换并通过透明基板(10)的外侧的直线偏振光、和由第一偏振片(13)转换并在透明基板(10)的内部传播且从透明基板(10)的端部侧面射出的射出光。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 检测 方法 装置 以及 处理 | ||
【主权项】：
1.一种透明基板的端部检测方法，其为检测具有光学各向同性的透明基板的端部的方法，其特征在于：将由第一偏振片转换后的来自光源的直线偏振光向所述透明基板的背面端部照射，通过具有与所述第一偏振片的偏光轴正交的偏光轴的第二偏振片从所述透明基板的表面侧观察透过该透明基板的端部的直线偏振光、通过该透明基板的外侧的直线偏振光、和在该透明基板的内部传播并从该透明基板的端部侧面射出的射出光。
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