[发明专利]光控制元件

摘要

本发明提供一种光控制元件，其包括具有电光效应的薄板、形成于所述薄板上的光波导、和用于控制通过所述光波导的光的控制电极，本发明能够解决以下课题，即实现施加给所述控制电极的微波信号与所述光的速度匹配及所述微波的阻抗匹配，降低驱动电压，实现快速动作。为了解决所述课题，本发明的光控制元件的所述控制电极在所述薄板的上侧配置信号电极和接地电极，在所述薄板的下侧夹着低介电常数层配置包括接地电极的第2电极，该低介电常数层大于所述信号电极的宽度，并沿着所述信号电极的整个长度方向形成。

主权项

1.一种光控制元件，包括具有电光效应且厚度为10μm以下的薄板、形成于所述薄板的光波导、用于控制通过所述光波导的光的控制电极，所述光控制元件的特征在于，所述控制电极包括夹着所述薄板而配置的第1电极和第2电极，所述第1电极具有至少由信号电极和接地电极构成的共面式的电极，该第2电极至少具有接地电极，并且与第1电极的信号电极协作而向所述光波导施加电场，在所述薄板的下方形成有低折射率层，该低折射率层具有至少比所述第1电极的所述信号电极的宽度大的宽度，并至少沿着所述信号电极的整个长度方向设置。