[发明专利]太阳能电池的氮氧化物钝化无效

专利信息
申请号: 200880011608.7 申请日: 2008-04-04
公开(公告)号: CN101652865A 公开(公告)日: 2010-02-17
发明(设计)人: C·斯通 申请(专利权)人: 太阳能公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人: 王 勇;姜 华
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一个实施例涉及用于太阳能电池的结构。该结构包括其中具有P型和N型活性扩散区域的硅衬底。至少在该P型(304)和N型(302)活性扩散区域上包括了氮氧化物钝化层(402)。该结构进一步包括穿过该氮氧化物钝化层(402)至该P型(304)和N型(302)活性扩散区域的接触开口(502),和金属网格线(702和704),该金属网格线通过该接触开口(502)选择性地接触该P型(304)和N型(302)活性扩散区域。另一个实施例涉及制造太阳能电池的方法。还公开了其他实施例、方面和特征。
搜索关键词: 太阳能电池 氧化物 钝化
【主权项】:
1.一种制造太阳能电池的方法,该方法包括:在硅衬底上形成P型和N型活性扩散区域;在该P型和N型活性扩散区域上形成氮氧化物钝化层;形成接触开口,该接触开口穿过该氮氧化物钝化层至该P型和N型活性扩散区域;形成金属网格线,该金属网格线通过该接触开口选择性地接触该P型和N型活性扩散区域。
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