[发明专利]含氟聚合物薄膜及其制造方法无效
| 申请号： | 200880012513.7 | 申请日： | 2008-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101663415A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 民辻慎哉;渡边邦夫;坂根好彦;南馆纯 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C08F16/38;C08F24/00;C08F34/02;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 刘多益;胡 烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供与基材的密合性及膜强度良好的含氟聚合物的制造方法。含氟聚合物薄膜的制造方法的特征在于，通过以主链具有含氟脂肪族环结构、重均分子量为3000～80000的含氟聚合物为蒸镀源的物理蒸镀法，在基材上形成含氟聚合物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 薄膜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.含氟聚合物薄膜的制造方法，其特征在于，通过以主链具有含氟脂肪族环结构、重均分子量为3000～80000的含氟聚合物为蒸镀源的物理蒸镀法，在基材上形成含氟聚合物薄膜。
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