[发明专利]移动体装置无效
| 申请号： | 200880014027.9 | 申请日： | 2008-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101689026A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 金谷有步 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 于投影单元(PU)的+X，-X侧，分别将多个Y读头(65，64)以标尺的有效宽度的一半以下的间隔(WD)与X轴平行地排列成随时有各两个读头成对对向于晶片载台上的Y标尺。同样地，于投影单元(PU)的+Y，-Y侧，分别将多个X读头(66)以间隔(WD)与Y轴平行地排列成随时有各两个读头成对对向于X标尺。同时对向于标尺的两读头所构成的读头对中的优先读头的测量值，在优先读头的测量值因读头的动作不良等导致异常的情形时，使用另一读头的测量值。使用两个Y读头对与一个X读头对稳定且高精度地测量载台在二维平面内的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其具备：标尺，配置于该移动体与该移动体外部中的一方，具有以与该既定平面平行的面内的第一方向为长边方向、且于与该第一方向正交的第二方向具有既定宽度的光栅部；以及测量装置，在配置于该标尺上的多个测量点测量该移动体在该光栅部的周期方向的位置信息；该多个测量点的配置，设定成该多个测量点中的n点(其中n为2以上的整数)以上位于该标尺上的该既定宽度内，且在该移动体位于既定位置时该多个测量点中的n+1点以上位于该标尺上的该既定宽度内。
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