[发明专利]用于快速扫描探针显微术的闭环控制器和方法有效
| 申请号： | 200880014968.2 | 申请日： | 2008-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN101711342A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 史建;苏全民;克雷格·普拉特;马骥 | 申请（专利权）人： | 威科仪器公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B7/00;G01B21/00;G01N13/16;G01N23/00;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 潘士霖;陈炜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种操作度量器件的方法，包括：使用执行器(110)以扫描频率产生探针(14)与样本(22)之间的相对运动。该方法还包括：使用在检测到的运动中表现噪声的位置传感器(108)检测执行器的运动，并且使用反馈回路(104)和前馈算法(120)控制执行器(110)的位置。在该实施例中，控制步骤使得执行器位置中的噪声与在扫描带宽上的位置传感器所表现的噪声相比而被衰减。扫描频率可高达第一扫描器谐振频率的三分之一或大于300Hz。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 快速 扫描 探针 显微 闭环 控制器 方法 | ||
【主权项】：
一种操作度量器件的方法，包括：使用执行器以扫描频率产生探针与样本之间的相对运动；使用位置传感器检测执行器的运动，其中所述位置传感器在检测到的运动中表现噪声；使用反馈回路和前馈算法控制所述执行器的位置；以及其中所述控制步骤使得所述执行器位置中的噪声与在约为扫描频率的七倍的噪声带宽中的检测到的运动中的噪声相比而被衰减。
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