[发明专利]金属氧化物薄膜的制造方法及制造装置

摘要

本发明通过利用伴随催化反应的化学能，在无需电能的情况下，以低成本在基板上高效地形成以氧化锌为代表的金属氧化物薄膜的技术。向催化反应装置内导入H₂气体和O₂气体、或者导入H₂O₂气体，并使其与催化剂接触而得到H₂O气体，使所述H₂O气体从催化反应装置喷出而与金属化合物气体反应，从而使金属氧化物薄膜沉积在基板上，由此制造金属氧化物薄膜。

主权项

1、一种金属氧化物薄膜的制造方法，其特征在于，向催化反应装置内导入H2气体和O2气体、或者导入H2O2气体，并使其与催化剂接触而得到H2O气体，使所述H2O气体从催化反应装置喷出而与金属化合物气体反应，从而使金属氧化物薄膜沉积在基板上。