[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂组合物

摘要

本发明提供FPD制造用光致抗蚀剂剥离剂组合物，其能够在FPD制造工序中剥离光致抗蚀剂，而不会腐蚀Al或Al合金导线，而且也不会腐蚀Cu或Cu合金导线。本发明的光致抗蚀剂剥离剂组合物含有：选自由麦芽酚、2，6-二甲基-γ-吡喃酮、4-羟基-6-甲基-2-吡喃酮、4-羟基香豆素、2，4-二羟基喹啉、2-氨基-4，6-二羟基嘧啶、2，4-二氨基-6-羟基嘧啶、2-氨基-4-羟基-6-甲基嘧啶、4，6-二甲基-2-羟基嘧啶、尿嘧啶和6-甲基尿嘧啶组成的组中的至少一种杂环式化合物0.05～10重量％；烷醇伯胺或仲胺或者烷基伯胺或仲胺5～45重量％；极性有机溶剂30～94.85重量％；糖醇0.1～10重量％。

主权项

1、一种光致抗蚀剂剥离剂组合物，其用于形成Cu或Cu合金导线及形成Al或Al合金导线，其是在平板显示器制造工序中使用的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于，该组合物含有：0.05重量％～10重量％的选自由具有如下通式(1)的结构的化合物和具有如下通式(2)的结构的化合物组成的组中的至少一种杂环式化合物(A)、5重量％～45重量％的选自由烷醇伯胺和烷醇仲胺以及烷基伯胺和烷基仲胺组成的组中的至少一种胺(B)、30重量％～94.85重量％的极性有机溶剂(C)、以及0.1重量％～10重量％的糖醇(D)，各式中，A1和A2各自独立地表示N、NH、O或C，且至少一个不是C；A3～A6各自独立地表示-H、-OH、-NH2、-CH3或＝O，且至少一个是-OH或＝O。