[发明专利]用于电子柱的磁偏转器无效
| 申请号： | 200880016052.0 | 申请日： | 2008-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101681783A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮;金荣喆 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明主要涉及一种用于生成电子束的微柱的偏转器，并且尤其涉及一种能够使用磁场来对电子束进行扫描或偏移、或用作象散校正装置的偏转器。根据本发明的偏转器(100)包括一个或多个偏转器电极。所述偏转器电极中的各个偏转器电极包括由导体或半导体制成的铁芯(12)以及缠绕该铁芯(12)的线圈(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 偏转 | ||
【主权项】：
1、一种用于微柱的磁偏转器，该磁偏转器包括：一个或多个偏转器电极，各个偏转器电极包括：由导体或半导体制成的铁心；以及缠绕所述铁心的线圈。
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