[发明专利]光学位置测量装置有效
| 申请号： | 200880016219.3 | 申请日： | 2008-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN101688795A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | W·霍尔扎普费尔 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/347 | 分类号： | G01D5/347;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 汤春龙;刘春元 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光学位置测量装置，用于检测扫描单元与至少在一个测量方向上相对于该扫描单元可移动的刻度尺的相对位置。刻度尺M被构建成组合的结构单元，其具有至少一个反射器元件及测量刻度。光源及一个或多个探测器元件被分配给扫描单元。扫描单元具有分裂器，其在测量方向上将由光源发射的光线束分成至少两束部分光线束，其在分裂后沿刻度尺方向传播。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学位置测量装置，用于检测扫描单元(AE)及至少在一个测量方向(Mr)上相对于所述扫描单元可移动的刻度尺(Mf)的相对位置，其中，-所述刻度尺(Mf)被构建成组合的结构单元，所述结构单元具有至少一个反射器元件(R1、R2；Pr；R)及测量刻度(Gf)，以及-光源(LD)及一个或多个探测器元件(PE-1、PE0、PE+1)被分配给所述扫描单元(AE)，以及-所述扫描单元具有分裂器(Mm；Mm1、Mm2)，所述分裂器在测量方向(Mr)上将由所述光源(LD)发射的光线束分裂成至少两束部分光线束，所述部分光线束在分裂后向着所述刻度尺(Mf)方向传播。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司，未经约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880016219.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
