[发明专利]长度测量装置无效
| 申请号： | 200880017428.X | 申请日： | 2008-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101680744A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 高桥显 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02;G01S17/32 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车 文;张建涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用激光束的光学长度测量装置，并提出能实现高度精确测量。所述长度测量装置包括：长度测量部分，该长度测量部分测量到被测物的距离并具有测量激光束源；校准激光束源，该校准激光束源发射激光束，该激光束的波长稳定性高于所述测量激光束源的激光束的波长稳定性；干涉光学系统，该干涉光学系统使得所述测量激光束源的激光束与所述校准激光束源的激光束干涉；以及运算处理部分，该运算处理部分基于所述干涉光学系统的输出和所述长度测量部分的输出来进行所述距离的计算。 | ||
| 搜索关键词： | 长度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种长度测量装置，包括：长度测量部分，所述长度测量部分测量到被测物的距离并具有测量激光束源；校准激光束源，所述校准激光束源发射具有比所述测量激光束源的激光束的波长稳定性高的波长稳定性的激光束；干涉光学系统，所述干涉光学系统使得所述测量激光束源的激光束与所述校准激光束源的激光束干涉；以及运算处理部分，所述运算处理部分基于所述干涉光学系统的输出和所述长度测量部分的输出来计算所述距离。
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