[发明专利]制作探针针尖的方法有效
| 申请号： | 200880017917.5 | 申请日： | 2008-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101680913A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 洪锜弼;蔡钟炫;李鹤周 | 申请（专利权）人： | M2N公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种用于制作探针针尖的方法，其能够在所述探针针尖由于与晶片芯片频繁接触而磨损时防止所述探针针尖的前端的表面尺寸的迅速增大，并且还能够提高所述探针针尖的所述前端的精度。所述用于制作探针针尖的方法包括：在硅晶片上形成所述探针针尖的前端；形成第一保护层，该第一保护层形成图案以使所述探针针尖的所述前端的一部分曝光；以及在通过所述第一保护层的图案而露出的一部分中形成所述探针针尖的主体。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 探针 针尖 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于制作探针针尖的方法，该方法包括：在硅晶片上形成所述探针针尖的前端；形成第一保护层，所述第一保护层形成图案以使所述探针针尖的所述前端的一部分曝光；以及在通过所述第一保护层的图案而露出的一部分中形成所述探针针尖的主体。
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