[发明专利]基板清洁腔室与其部件有效
| 申请号： | 200880017948.0 | 申请日： | 2008-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101730921A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | M·瑞克;W·W·王 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种基板清洁腔室包含多种部件，例如，一消耗性陶瓷衬垫、基板加热底座、以及工艺套组。该消耗性陶瓷衬垫是经提供以连接一远程气体激发器的出气道至一基板清洁腔室的进气道。该基板加热底座包含一环状板，该环状板具有一基板承接表面，且该基板承接表面具有设置在一凹槽数组内的数个陶瓷球。一工艺套组包含一顶板、顶部衬垫、配气板、底部衬垫、集中环。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 与其 部件 | ||
【主权项】：
一种用于连接远程腔室的出气道至基板清洁腔室的进气道的消耗性(consumable)陶瓷衬垫，该陶瓷衬垫包含：(a)入口圆柱，其外径是按一定尺寸制作以适配至该远程腔室的该出气道内；(b)出口圆柱，与该基板清洁腔室的该进气道连接；以及(c)圆锥形展开部(flare)，将该入口圆柱连结至该出口圆柱。
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