[发明专利]用于探测样品表面的光谱成像方法和系统

摘要

一种用于探测样品(1)的表面(2)光谱成像方法和系统。该光谱成像系统包括：高倍放大或低倍放大装置，其包括物镜(5)；外壳(6)，其包括光谱仪；以及扫描装置(11)，其设置在高倍放大或低倍放大装置的物镜(5)与光谱仪之间，且能够沿两个方向X和Y扫描样品表面(2)，以照射样品表面(2)上的被扫描区域(3)。根据本发明，当在被扫描区域上扫描激发射束(8)期间，在探测装置(10)的像素上对在被扫描区域上测量的发射光束(9)的能量进行积分，产生每条像素线的平均光谱数据；存储装置(12)被连接到探测装置(10)，每条像素线的所述平均光谱数据被传送到存储装置(12)，并且所述存储装置(12)包括存储器，所述存储器能够存储M条像素线的平均光谱数据；并且成像装置(13)被连接到存储装置(12)，M条像素线的所述平均光谱数据被同时发送到所述成像装置(13)，以获得被扫描区域的平均光谱图像。

主权项

1.一种用于探测样品(1)的表面(2)的光谱成像方法，其包括第一步骤a)，其中：用激发射束(8)照射所述样品表面(2)，以产生发射光，会聚所述发射光，以形成具有能量的发射光束(9)，测量所述发射光束(9)的所述能量，以获得所述样品表面(2)的光谱图像，其特征在于：在所述第一步骤a)中，沿两个方向X和Y在所述样品表面(2)上扫描所述激发射束(8)，以照射所述样品表面(2)上的被扫描区域(3)且测量在所述被扫描区域(3)上的所述发射光束(9)的所述能量，当在所述被扫描区域(3)上扫描所述激发射束(8)以及时间t期间对所述发射光束(9)的所述能量进行积分，以获得所述被扫描区域(3)的平均光谱图像，所述光谱成像方法还包括：第二步骤b)，其中对所述样品表面(2)的一个或多个其他被扫描区域(3)重复前面的第一步骤a)，每个被扫描区域(3)与至少一个其他被扫描区域(3)邻接，第三步骤c)，其中在测得的能量中选择一条或多条信息，第四步骤d)，其中，如果在所述被扫描区域(3)中探测到至少一条选定的信息时，将一个或多个被扫描区域(3)划分成多个更小的被扫描区域(4)，以及将前面的步骤a)至d)应用于至少一个更小的被划分的被扫描区域(4)。