[发明专利]产品的湿式化学处理装置和方法以及将流动构件安装入该装置的方法有效
| 申请号： | 200880018927.0 | 申请日： | 2008-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101687154A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | S·丁内拜尔;H·克林尔 | 申请（专利权）人： | 埃托特克德国有限公司 |
| 主分类号： | B01F11/00 | 分类号： | B01F11/00;B05C1/02;H01L21/00;B05C3/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈 珊;刘兴鹏 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了确保产品(W)的表面上的均匀流动，提供了一种用于对布置于其中的产品(W)进行湿式化学处理的装置(100)。该装置包括至少一个流动构件(150)，流动构件(150)分别包括至少一个桨状流动元件(155)，其中至少一个流动元件(155)布置为与产品(W)的表面相对地定位并且可与产品(W)的表面大致平行地移动。 | ||
| 搜索关键词： | 产品 化学 处理 装置 方法 以及 流动 构件 装入 | ||
【主权项】：
1.一种对布置于装置中的产品(W)进行湿式化学处理的装置，所述装置(100)包括至少一个流动构件(150)，每个流动构件包括至少一个桨状流动元件(155)，其特征在于至少一个流动元件(155)布置为与产品(W)的表面相对地定位并且能够与产品(W)的表面大致平行地移动。
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