[发明专利]包括多个扩散焊接板的气体分布器以及制造这种气体分布器的方法有效

专利信息
申请号: 200880019034.8 申请日: 2008-06-04
公开(公告)号: CN101678497A 公开(公告)日: 2010-03-24
发明(设计)人: 维克托·塞维尔;克里斯·亨贝;弗雷德·克劳利 申请(专利权)人: 艾克斯特朗股份公司
主分类号: B23K20/02 分类号: B23K20/02;B23K20/227;H01J37/32;C23C16/455
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 王 冉
地址: 德国黑*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于CVD反应器的气体分布器(1,2),包括两个或多个腔(8,9,14),端部具有供给管线,其中,至少一个腔(8,9)形成气体容积并且借助多个与至少一个其他腔(9,14)交叉的小管(11,12,13)连接至与气体分布器(12)的底部(2’)相关联的气体出口开口(23)。为了简化生产并且改善技术,气体分布器(1,2),至少在小管(11,12,13)的区域中,采用位于彼此上方的多个结构化盘制成,并且在压力和温度的作用下扩散焊接于彼此。
搜索关键词: 包括 扩散 焊接 气体 分布 以及 制造 这种 方法
【主权项】:
1、用于CVD反应器的具有两个或多个腔(8,9,14)的气体分布器(1,2),供给管线通入每个腔,至少一个所述腔(8,9)限定气体容积并且借助交叉于至少一个其他腔(9,14)的多个小管(11,12,13)连接至与气体分布器(1,2)的底部(2’)相关联的气体出口开口(23),其特征在于,至少在小管(11,12,13)的区域中,气体分布器(1,2)包括一个位于另一个上的多个结构化盘(3,4,4’,5,6),这些盘固定地彼此连接,尤其地,在压力和温度的作用下彼此扩散焊接,所述小管(11,12,13)由多个环形盘(16,17,18)形成,尤其是一致地一个设置于另一个上。
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