[发明专利]包括多个扩散焊接板的气体分布器以及制造这种气体分布器的方法

摘要

本发明涉及一种用于CVD反应器的气体分布器(1，2)，包括两个或多个腔(8，9，14)，端部具有供给管线，其中，至少一个腔(8，9)形成气体容积并且借助多个与至少一个其他腔(9，14)交叉的小管(11，12，13)连接至与气体分布器(12)的底部(2’)相关联的气体出口开口(23)。为了简化生产并且改善技术，气体分布器(1，2)，至少在小管(11，12，13)的区域中，采用位于彼此上方的多个结构化盘制成，并且在压力和温度的作用下扩散焊接于彼此。

主权项

1、用于CVD反应器的具有两个或多个腔(8，9，14)的气体分布器(1，2)，供给管线通入每个腔，至少一个所述腔(8，9)限定气体容积并且借助交叉于至少一个其他腔(9，14)的多个小管(11，12，13)连接至与气体分布器(1，2)的底部(2’)相关联的气体出口开口(23)，其特征在于，至少在小管(11，12，13)的区域中，气体分布器(1，2)包括一个位于另一个上的多个结构化盘(3，4，4’，5，6)，这些盘固定地彼此连接，尤其地，在压力和温度的作用下彼此扩散焊接，所述小管(11，12，13)由多个环形盘(16，17，18)形成，尤其是一致地一个设置于另一个上。