[发明专利]质谱仪装置有效
| 申请号： | 200880019775.6 | 申请日： | 2008-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101681787A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·亨利;克里斯蒂安·拜尔 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春水;王艳江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种质谱仪装置(10)，其具有外壳(86)，所述外壳(86)具有带有质谱仪预真空出口(30)的质谱仪预真空真空腔(20)、至少两个质谱仪高真空真空腔(21、22、23)和与所述高真空真空腔(21、22、23)连接的集成的涡轮分子泵(12)，所述涡轮分子泵(12)具有预真空出口(89)。所述两个预真空出口(30、89)通入所述外壳(86)内的共同的预真空空间(98)内，所述预真空空间(98)通入外壳出口(88)内。 | ||
| 搜索关键词： | 质谱仪 装置 | ||
【主权项】：
1.一种质谱仪装置(10)，具有外壳(86)，所述外壳(86)具有：带有质谱仪预真空出口(30)的质谱仪预真空真空腔(20)；至少两个质谱仪高真空真空腔(21、22、23)；和与所述高真空真空腔(21、22、23)连接的集成的涡轮分子泵(12)，所述涡轮分子泵(12)具有预真空出口(89)，其中所述两个预真空出口(30、89)通入所述外壳(86)内的共同的预真空空间(98)内，所述预真空空间(98)通入外壳出口(88)内。
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