[发明专利]具有模拟复位的电容式微机械传感器的工作方法和电路结构有效
| 申请号： | 200880020433.6 | 申请日： | 2008-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101680910A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 冈特·斯帕林格 | 申请（专利权）人： | 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;H03K17/975 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;陈立航 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于使电容式微机械传感器工作的工作方法，该微机械传感器具有至少一个由两个固定电极(E1，E2)以及可移动中心电极(EO)构成的差动电容器，并且测量中心电极(EO)的偏转量。本发明对与静电恢复力相对应的、作用于中心电极上的力的比例进行补偿。在该传感器的闭环工作期间，所述选择信号影响复位串扰信号，以使得作为结果的电容恢复力以补偿的方式与所述中心电极的偏转量相抵消。提供了两种用于优化控制的本发明的实施例和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 模拟 复位 电容 式微 机械 传感器 工作 方法 电路 结构 | ||
【主权项】：
1.一种电容式微机械传感器的工作方法，所述电容式微机械传感器具有至少一个由两个固定电极(E1，E2)和布置在所述固定电极之间的可移动中心电极(E0)构成的差动电容器，所述两个中心电极(E0)以弹性方式悬置并且能够因外力而偏转，在所述固定电极和所述中心电极之间施加相等但极性相反的激励电压(U0)并且测量所述中心电极的偏转量，其特征在于，对与静电恢复力相对应且被称作复位串扰的、能够在所述中心电极处流出的电荷的比例进行补偿。
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