[发明专利]具有多层金属氧化物涂层的工具和制备所述涂层工具的方法无效
| 申请号： | 200880022916.X | 申请日： | 2008-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN101720362A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 法伊特·席尔 | 申请（专利权）人： | 瓦尔特公开股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及具有基体和施加在其上的多层涂层的切削工具，其中多层涂层的至少两个层被安排成一层覆盖在另一层上，所述层含有相同金属或不同金属的金属氧化物，或由相同金属或不同金属的金属氧化物构成。为了产生比现有技术中更好的切削工具，按照本发明，提出了通过不同的PVD工艺方法相继产生一层覆盖在另一层上排列的至少两个金属氧化物层，其中PVD工艺方法选自：i)反应性磁控溅射(RMS)，ii)电弧气相沉积(arc-PVD)，iii)离子镀，iv)电子束气相沉积和v)激光沉积，其中相应工艺i)到v)的变体不构成不同的PVD工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多层 金属 氧化物 涂层 工具 制备 方法 | ||
【主权项】：
具有基体和施加在其上的多层涂层的切削工具，其中所述多层涂层的一层覆盖在另一层上排列的至少两个层含有相同金属或不同金属的金属氧化物，或由相同金属或不同金属的金属氧化物构成，其特征在于通过不同的PVD工艺方法相继产生一层覆盖在另一层上排列的至少两个金属氧化物层，其中PVD工艺方法选自：i)RMS，ii)电弧气相沉积(arc-PVD)，iii)离子镀，iv)电子束气相沉积和v)激光沉积，其中相应工艺i)到v)的变体不构成不同的PVD工艺。
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