[发明专利]用于存在性检测的薄膜检测器有效
| 申请号： | 200880023261.8 | 申请日： | 2008-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101919079A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | M·克利;K·赖曼;B·K·斯里达兰奈尔;R·P·A·德尔诺伊;H·M·J·布茨;C·A·本德斯;O·武尼克;D·里夫曼;P·德克森;R·德克;H·范埃希;M·德威尔德;R·莫西奥克;C·范希施;W·F·帕斯维尔;E·J·克尼贝;R·A·H·布里恩 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;B06B1/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘鹏;谭祐祥 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 提供了一种换能器(800)，其中隔膜(830)在前衬底(615)上形成；并且压电层(820)在隔膜(830)上的活性部分(821)和位于活性部分(821)邻近的外围部分处形成。此外，提供了后衬底结构，其具有位于邻近活性部分(821)的外围部分处的支撑物(822，824)。支撑物(822，824)的高度(826)大于图案化压电层和图案化导电层的组合高度(828)。可以连接许多换能器以形成阵列，其中可以提供控制器，其用于控制该阵列(例如操纵该阵列的束、处理该阵列接收的信号)，用于例如存在性或运动检测和/或成像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 存在 检测 薄膜 检测器 | ||
【主权项】：
一种形成换能器(800)的方法，包括以下动作：在前衬底(615)上形成隔膜(830)；在隔膜(830)上形成压电层(820)；在压电层(820)的活性部分(821)上形成包括第一和第二电极(840，845)的图案化导电层；以及形成具有位于活性部分(821)的相邻侧上的支撑物(822，824)的后衬底结构。
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