[发明专利]用于产生光学测量仪器中所用的光束的装置和方法有效
| 申请号： | 200880024857.X | 申请日： | 2008-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101743500A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | D·M·斯普里格斯;D·A·斯普林费洛 | 申请（专利权）人： | 马尔文仪器有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/46 | 分类号： | G02B27/46;G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 杨勇;郑建晖 |
| 地址： | 英国伍*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种用于提供在衍射仪器(1)中使用的光束的装置，其包括：用于产生光束的设备(10；17；28)；以及用于将由设备(10；17；28)所产生的光束进行整形的器具(12，21；24)，使用中，该器具的尺寸被设计，以确定光束形状，该器具还包括：小孔(21，25)以及用于抑制所述光束中特定范围之上的空间频率分量的器具(13；24)。所述装置还包括一个空间低通滤波器(14，15；26，27)，该空间低通滤波器被布置用于对所述光束整形器具所提供的光束进行滤波。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 光学 测量 仪器 所用 光束 装置 方法 | ||
【主权项】：
用于提供在光学测量仪器(1)中使用的光束的装置，包括：用于产生光束的设备(10；17；28)；以及用于将由所述设备(10；17；28)所产生的光束进行整形的器具(12，21；24)，在使用中，该器具的尺寸被设计以确定光束形状，所述器具包括：小孔(21，25)以及用于抑制所述光束中特定范围之上的空间频率分量的器具(13；24)，其特征在于还包括一个空间低通滤波器(14，15；26，27)，其被布置为对所述光束整形器具所提供的光束进行滤波。
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