[发明专利]投射物镜有效
| 申请号： | 200880025278.7 | 申请日： | 2008-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101755231A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 汉斯-于尔根·曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B13/22 | 分类号： | G02B13/22;G02B13/26;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及投射物镜(1)，投射物镜(1)用于将在至少1.5的场纵横比(x/y)的物平面(3)中的物场(2)在像平面(5)中的像场(4)中复制。投射物镜(1)具有至少两个光学有效表面(M1至M6)，用于在物场(2)和像场(4)之间的光束路径中引导成像光(6)。投射物镜(1)占据具有立方包络(11)的安装空间。安装空间跨越长度尺度(z2)和两个横向尺度(x2、y2)。在一个实施例中，平行于物场(2)的短尺度(y1)的立方包络(11)的横向尺度(y2)小于物场(2)的长尺度(x1)。可替代地或另外地，立方包络的两个横向尺度能够具有至少1.1的横向尺度纵横比(x2、y2)。这导致相比现有技术，能够在至少一尺度中更紧凑地配置的投射物镜。 | ||
| 搜索关键词： | 投射 物镜 | ||
【主权项】：
投射物镜(1)，用于将具有至少1.5的场纵横比(x/y)的物平面(3)中的物场(2)成像到像平面(5)中的像场(4)，-具有至少两个光学有效表面(M1至M6)，用于引导物场(2)和像场(4)之间的光束路径中的成像光(6)，其特征在于，投射物镜(1)的光学有效表面(M1至M6)以及其物场(2)和其像场(4)占据具有立方包络(11)的安装空间，该立方包络(11)跨越长度尺度(z2)以及彼此垂直的两个横向尺度(x2、y2)，其中-立方包络(11)的长度尺度(z2)由物平面(2)与像平面(4)之间的投射物镜(1)的长度确定，-立方包络(11)的横向尺度(y2)，其平行于物场(2)的短尺度(y1)延伸，该短尺度(y1)小于物场(2)的长尺度(x1)。
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