[发明专利]光学单元、照明光学设备、曝光设备和装置制造方法有效
| 申请号： | 200880100940.0 | 申请日： | 2008-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101765799A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 谷津修 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种照明光学设备具有光学单元3。所述光学单元具有：分光器35，用以使入射射束分裂成两个射束；第一空间光调制器33，其可布置于第一射束的光学路径中；第二空间光调制器34，其可布置于第二射束的光学路径中；和光组合器36，其将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合；所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的每一者具有二维地布置且个别地被控制的多个光学元件33a、34a。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 单元 照明 设备 曝光 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光学单元，其特征在于，其包含：分光器，用以将在入射光路中行进的入射射束分裂成多个射束；第一空间光调制器，其可布置于所述多个射束中的第一射束的光学路径中；第二空间光调制器，其可布置于所述多个射束中的第二射束的光学路径中；以及光组合器，用以将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合，和将所得的射束导向出射光路；其中所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的至少一空间光调制器包括被二维地布置和个别地被控制的多个光学元件；且其中所述分光器侧上的所述入射光路与所述光组合器侧上的所述出射光路在相同方向上延伸。
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