[发明专利]有机电致发光装置的制造方法无效
| 申请号： | 200880101448.5 | 申请日： | 2008-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101772989A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木诚;森岛进一;伊藤范人 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/46;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/04;G09F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种有机EL装置的制造方法，其在形成包含对有机EL元件进行密封的无机物层的被膜时，可抑制对有机EL元件造成的损害，并且可形成对水蒸气或氧的阻隔性较高的被膜。有机EL元件(20)是在至少一个为透明或半透明的一对电极间夹着包含发光层的有机EL层(22)而构成，密封层(30)包含与有机EL元件(20)接触的至少1层无机物膜并用于密封有机EL元件(20)。在基板(10)上形成有机EL元件(20)及密封层(30)时，利用离子束溅射法来形成密封层(30)中的与有机EL元件(20)接触的第1密封膜(31)，而利用离子束溅射法以外的其他成膜方法来形成密封层(30)中的其他无机物膜。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种有机电致发光装置的制造方法，其中，在所述有机电致发光装置中，有机电致发光元件搭载于支撑基板上，且所述有机电致发光元件被所述支撑基板与至少包含第1无机物膜以及第2无机物膜的密封层所包围而与外界阻隔，所述有机电致发光装置的制造方法包括：利用离子束溅射法来形成所述第1无机物膜，以覆盖搭载于所述支撑基板上的有机电致发光元件的露出面的工序；以及在形成所述第1无机物膜之后，利用与离子束溅射法不同的成膜方法来形成覆盖所述第1无机物膜的第2无机物膜的工序。
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