[发明专利]具有MEMS惯性感测及内置数字电子元件的集成式移动处理单元(MPU)

摘要

本发明提供一种可运作以安装至面板的表面上的模块，该模块包含线性加速度计及第一旋转传感器，该线性加速度计提供至少一个轴线上的线性加速度的测量所对应的第一测量输出，而该第一旋转传感器可操作以提供绕着至少一个轴线的旋转的测量所对应的第二测量输出。该加速度计及该第一旋转传感器是形成在第一基板上。该模块还包含专用集成电路(ASIC)，该ASIC接收来自于该线性加速度计的该第一测量输出及来自于该第一旋转传感器的该第二测量输出两者。该ASIC包含模拟数字转换器，并且实施在第二基板上。该第一基板是垂直地接合于该第二基板。

主权项

一种可操作以被安装至面板的表面上的模块，该模块包括：线性加速度计，用来提供第一测量输出，该第一测量输出对应于至少一个轴线的线性加速度的测量，该加速度计形成在第一基板上；第一旋转传感器，可操作以提供第二测量输出，该第二测量输出对应于绕着至少一个轴线的旋转的测量，该第一旋转传感器形成在该第一基板上；以及专用集成电路(ASIC)，用来接收来自于该线性加速度计的该第一测量输出及来自于该第一旋转传感器的该第二测量输出，该专用集成电路(ASIC)包括模拟数字转换器(ADC)，并且实施在第二基板上，其中，该第一基板垂直地接合至该第二基板。