[发明专利]波面像差测量装置及方法、以及波面像差调整方法无效
| 申请号： | 200880101961.4 | 申请日： | 2008-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101772696A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 根岸武利 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明关于用以测量被检光学系统(20)的波面像差的波面像差测量装置，其具备：点光源(3a：1～3)，用以供应测量光；光检测器(7)，具有配置在与点光源成光学共轭位置的检测面；波面变化赋予部(5)，配置在点光源与光检测器间的光路中，能对于经过被检光学系统的光赋予波面变化；及测量部(6)，根据光检测器的输出、与波面变化赋予部中所赋予的波面变化，测量被检光学系统的波面像差。其并不使用干涉法，能以较简单的构成来测量被检光学系统的波面像差。 | ||
| 搜索关键词： | 波面像差 测量 装置 方法 以及 调整 | ||
【主权项】：
一种波面像差测量装置，用以测量被检光学系统的波面像差，其特征在于，所述波面像差测量装置包括：点光源，用以供应测量光；光检测器，具有配置在与所述点光源成光学共轭位置的检测面；波面变化赋予部，配置在所述点光源与所述光检测器间的光路中，能对于经过所述被检光学系统的光赋予波面变化；及测量部，根据所述光检测器的输出、与于所述波面变化赋予部所赋予的波面变化，测量所述被检光学系统的波面像差。
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