[发明专利]研磨装置无效
| 申请号： | 200880102861.3 | 申请日： | 2008-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101784369A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 木村宪雄;伊藤贤也;高桥圭瑞;关正也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/18 | 分类号： | B24B21/18;B24B9/00;B24B21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为一种研磨装置，是使研磨工具(41)与基板(W)的周缘部(坡口部、缺口部、切缘部)滑动接触而研磨该周缘部的研磨装置。该研磨装置具备：基板保持部(20)，对基板(W)进行保持；和研磨头(42)，利用研磨工具(41)来对基板保持部(20)所保持的基板(W)的周缘部进行研磨。该研磨头(42)具有：加压垫(50)，将研磨工具(41)按压到基板(W)的周缘部上；和线性电动机(90)，使加压垫(50)往复运动。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，使研磨工具与基板的周缘部滑动接触而研磨该周缘部，其特征在于，具备：基板保持部，对基板进行保持；和研磨头，利用上述研磨工具对上述基板保持部所保持的基板的周缘部进行研磨，上述研磨头具有：加压垫，将上述研磨工具按压到基板的周缘部上；和线性电动机，使上述加压垫往复运动。
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