[发明专利]用于制备微结构化制品的工具有效
| 申请号： | 200880106064.2 | 申请日： | 2008-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN101795961B | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 莫塞斯·M·大卫 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种用于制备微结构化制品的方法，该方法包括：(1)在基底上形成第一微结构化图形；(2)复制第一微结构化图形以在挠性材料中制备第二微结构化图形；(3)多次复制第二微结构化图形以在可交联的材料中形成第三微结构化图形，从而在第一载体上制备工具；以及(4)在聚合物中复制第三微结构化图形以制备至少一个微结构化制品。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 微结构 制品 工具 | ||
【主权项】：
一种用于制备微结构化制品的方法，该方法包括：(1)在基底上形成第一微结构化图形；(2)复制所述第一微结构化图形以在挠性材料中制备第二微结构化图形；(3)多次复制所述第二微结构化图形以在可交联的材料中形成第三微结构化图形，从而在第一载体上制备工具；(4)通过等离子体处理改进所述第三微结构化图形的表面能；以及(5)在聚合物中复制所述第三微结构化图形以制备至少一个微结构化制品。
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