[发明专利]基于双模光波导的干涉仪和传感器以及感测方法无效
申请号: | 200880106254.4 | 申请日: | 2008-07-18 |
公开(公告)号: | CN101842691A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | C·多米格兹·霍娜;K·齐诺维埃弗;L·M·莱楚加·高麦兹 | 申请(专利权)人: | 科学研究高级委员会 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G02B6/12;G02B6/14;G02B27/56 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 马浩 |
地址: | 西班牙*** | 国省代码: | 西班牙;ES |
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摘要: | 本发明公开了一种基于双模光波导的干涉仪和传感器以及感测方法。平面光波导干涉仪(15,25,35,45),包括:衬底(8,28,38,48);包括沉积在所述衬底(8,28,38,48)上的至少一个层(1,2,3)的双模波导(10,20,20’,30,40),所述双模波导(10,20,20’,30,40)被设计为支持零阶和一阶横向传播模式,所述横向传播模式具有不同的色散;位于所述双模波导(10,20,20’,30,40)的上侧的特定区域中的传感器片(21,31,41,51),所述传感器片(21,31,41,51)被设计用于接收化学、生物或物理输入刺激物,所述刺激物能够改变所述双模波导(10,20,20’,30,40)的有效折射率。所述双模波导(10,20,20’,30,40)包括被设计用于在侧向限制光的限制装置(9),从而双模波导(10,20,20’,30,40)被设计用于支持一个侧向模式。提供了包括平面光波导干涉仪的芯片、传感器和感测方法。 | ||
搜索关键词: | 基于 双模 波导 干涉仪 传感器 以及 方法 | ||
【主权项】:
平面光波导干涉仪(15,25,35,45),包括:衬底(8,28,38,48);包括沉积在所述衬底(8,28,38,48)上的至少一个层(1,2,3)的双模波导(10,20,20’,30,40),所述双模波导(10,20,20’,30,40)被设计为支持零阶和一阶横向传播模式,所述横向传播模式具有不同的色散;位于所述双模波导(10,20,20’,30,40)的上侧的特定区域中的传感器片(21,31,41,51),所述传感器片(21,31,41,51)被配置用于接收化学、生物或物理输入刺激物,所述刺激物能够改变所述双模波导(10,20,20’,30,40)的有效折射率;其特征在于,所述双模波导(10,20,20’,30,40)还包括被设计用于在侧向限制光的限制装置(9),从而双模波导(10,20,20’,30,40)被设计用于支持一个侧向模式。
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