[发明专利]有机材料蒸气产生装置、成膜源、成膜装置有效
| 申请号： | 200880107220.7 | 申请日： | 2008-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101803460A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 根岸敏夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/12;H01L51/50 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 严志军;杨楷 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 即使不加快成膜速度，也形成均匀膜厚的薄膜。当从供给装置(40)将有机材料(48)供给至蒸发室(20a)，并使其在蒸发装置(24)的蒸发面(28)上时，加热预先设置的加热过滤器(32)，在其中使运载气体流动并进行加热，导入至蒸发室(20a)内。所生成的有机材料蒸气和运载气体混合，混合气体被导入至放出装置(70)内。在仅将有机材料蒸气导入至放出装置(70)内的情况下，在放出装置(70)内形成分子流，但运载气体使放出装置(70)内的压力上升，因而形成粘性流，混合气体充满于放出装置(70)内，均匀地放出。每次少量地供给有机材料，使成膜速度不过快即可。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 材料 蒸气 产生 装置 成膜源 | ||
【主权项】：
一种有机材料蒸气产生装置，具有：蒸发室；供给装置，连接于所述蒸发室，将有机材料供给至所述蒸发室的内部；蒸发装置，配置在所述蒸发室内，使从所述供给装置供给的所述有机材料蒸发；以及气体加热装置，加热运载气体，其中，所述蒸发室构成为，导入由所述气体加热装置加热的所述运载气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880107220.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种替换有载分接开关铜钨触头组的真空泡组
- 下一篇：一种水冷电缆
