[发明专利]将材料涂覆于衬底上的方法和装置

摘要

本发明提供了一种使用液滴印刷技术将材料涂敷于衬底上的方法，其中，向衬底的方向释放包括载气和所述材料的悬浮液液滴或所述材料的前体的溶液的液滴或所述材料的前体的液滴的这样的气流，由此，起初使气流中的液滴保持稳定流动并且随后在液滴与衬底接触前将其转化为收敛流动。本发明还提供了一种用于实施所述方法的装置。

主权项

一种使用液滴印刷技术和气流引导系统将材料涂敷于衬底上的方法，所述方法包括以下步骤：(a)将气流释放到所述衬底的方向，所述气流包括运载气体和所述材料的悬浮液的液滴或所述材料的前体的溶液的液滴或所述材料的前体的液滴，由此利用所述液滴印刷技术产生液滴；(b)保持所述气流稳定流动第一段时间，其中，在所述第一段时间内所述气流中的液滴的斯托克斯数小于1；(c)使所述气流中的液滴的稳定流动转化为收敛流动，并保持所述液滴的所述收敛流动第二段时间，由此在所述第二段时间内所述气流中的液滴的斯托克斯数增至一个大于10的值；以及(d)使如此获得的所述材料的悬浮液的液滴或如此获得的所述材料的前体的溶液的液滴与所述衬底接触。