[发明专利]物镜

摘要

一种物镜(OL)，按照从物体侧的次序包括具有正折射光焦度的第一透镜组(G1)、具有正折射光焦度的第二透镜组(G2)、在其上形成衍射光学表面(D)的衍射光学元件(GD)和具有负折射光焦度的第三透镜组(G3)。该第一透镜组(G1)包括至少一个胶合透镜并且其物体侧的表面形成面向物体的凹形表面。该第二透镜组(G2)包括至少一个胶合透镜。该第三透镜组(G3)包括至少一个胶合负透镜。在该物镜(OL)中，主光线在第二透镜组(G2)和第三透镜组(G3)之间与光轴相交，并且在衍射光学元件(GD)中，衍射光学表面(D)被置于主光线与光轴相交的位置的附近。

主权项

1.一种物镜，按照从物体侧的次序包括：具有正折射光焦度的第一透镜组；具有正折射光焦度的第二透镜组；具有衍射光学表面的衍射光学元件；和具有负折射光焦度的第三透镜组；所述第一透镜组包括至少一个胶合透镜，并且所述第一透镜组的最物体侧的表面形成面向物体侧的凹形表面；所述第二透镜组包括至少一个胶合透镜；所述第三透镜组包括至少一个胶合负透镜；主光线在所述第二透镜组和所述第三透镜组之间与光轴相交，并且所述衍射光学元件被置放成使得所述衍射光学表面被置于所述主光线与所述光轴相交的位置的附近；并且满足以下条件表达式：h＜α×L×0.3其中H3＝fa×NA，h表示主光线在所述衍射光学表面上的最大高度，表示真实视场，L表示在所述第二透镜组和所述第三透镜组之间沿着所述光轴的距离，fa表示所述物镜的焦距，H表示在所述衍射光学表面上的最大有效半径，NA表示数值孔径，f12表示所述第一透镜组和所述第二透镜组的组合焦距，并且f3表示所述第三透镜组的焦距。