[发明专利]具备集成到室壁上的电动机的基片加工装置有效
| 申请号： | 200880108254.8 | 申请日： | 2008-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101801817A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | A·库尔皮谢夫;C·霍夫梅斯特 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 主分类号： | B65G1/00 | 分类号： | B65G1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 严志军;谭祐祥 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种基片运输装置，包括：具有内表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于外周壁中，位于外周壁的内表面和邻近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在运输室内，使得被环形的电动机包围的外周壁的表面配置成将预定的设备附接到其上；以及至少一个基片运输臂，连接于至少一个转子，并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 集成 壁上 电动机 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种基片运输装置，包括：具有内表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于所述外周壁内，位于所述外周壁的内表面和邻近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在所述运输室内，使得被所述环形的电动机包围的外周壁的表面配置成将预定的设备附接到其上；以及至少一个基片运输臂，连接于所述至少一个转子，并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。
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