[发明专利]检查装置以及检查方法

摘要

目的在于提供一种检查装置，能够高精确度地检测通过含有导电性粒子的粘合材料而被安装在面板的元件的位置偏离量。检测通过ACF而被安装到面板的元件的偏离量的检查装置包括：红外光照明(305)，被设置在没有安装元件的面板的背面一侧，并使光照射到被形成在面板的面板识别标记以及被形成在元件的元件识别标记；红外线摄像机(307)，被设置在元件的没有与面板粘合的背面一侧，拍摄面板识别标记以及元件识别标记；以及偏离量算出部，从由红外线摄像机(307)拍摄的图像中，算出面板识别标记以及元件识别标记的偏离量，以作为安装位置的偏离量；红外光照明(305)以能够产生晕光的光量来照射能够透过面板以及元件且不能透过导电性粒子或很难透过导电性粒子的波长的光。

主权项

一种检查装置，检测通过含有导电性粒子的粘合材料而被安装在面板表面的元件的位置相对于规定的安装位置的偏离量，其特征在于，该检查装置包括：照明，被设置在面板的背面一侧，并使光照射到被形成在面板的面板识别标记以及被形成在所述元件的元件识别标记，所述面板的背面一侧是指与面板的安装元件一侧相反的一侧；摄像机，相对于面板被设置在与所述照明相反的一侧，拍摄由所述光照射的面板识别标记以及元件识别标记；以及算出单元，根据作为所述摄像机的拍摄结果的图像，算出所述面板识别标记以及所述元件识别标记的位置关系相对于规定的位置关系的偏离量；所述照明所照射出来的光是能够透过面板以及元件且不能透过所述导电性粒子或很难透过所述导电性粒子的波长的光，而且所述照明所照射出来的光的光量能够在所述图像中产生晕光。