[发明专利]使用具有空间分隔的反应性气体的气体输送头和移动基材经过输送头的用于形成薄膜的方法和沉积系统

摘要

公开了一种在基材上沉积薄膜材料的方法，包括向基材表面同时引导来自薄膜沉积系统的输送头的输出面的一系列气流，其中一系列气流包括至少第一反应性气态材料、惰性吹扫气体和第二反应性气态材料，其中第一反应性气态材料能够与用第二反应性气态材料处理的基材表面反应，其中一个或多个该气流提供至少有助于将基材表面与输送头表面分离的压力。还公开了一种能够实施这种方法的系统。

主权项

一种在基材上薄膜沉积固体材料的沉积系统，依次包括：(A)入口部分；(B)涂布部分，包括：(i)分别为多种气态材料提供的多个源，包括至少分别为第一、第二和第三气态材料提供的第一、第二和第三源；(ii)向接收薄膜沉积的基材输送多种气态材料的输送头，该输送头包括：(a)多个入口，包括至少分别用于接收第一、第二和第三气态材料的第一、第二和第三入口；和(b)沉积输出面，其与基材隔开一定距离并且包括为第一、第二和第三气态材料各自提供的多个基本平行的细长输出口，其中输送头被设计用来从沉积输出面中的输出口同时输送第一、第二和第三气态材料；(C)出口部分；(D)以单向通过方式移动基材通过涂布部分的装置；和(E)在薄膜沉积期间保持输送头的沉积输出面和基材表面之间距离基本一致的装置，其中涂布部分中的输送头被设计用来向薄膜沉积的基材表面提供一种或多种气态材料的流，也提供将输送头的沉积输出面与基材表面分离的至少部分力，其中任选地入口部分和/或出口部分各自包括具有多个非沉积输出口的非沉积输出面，所述非沉积输出口被设计用来在至少部分通过沉积系统期间向基材表面提供非反应性气体的气流；其中沉积头被设计用来仅在以单一单向通过方式移动基材通过涂布部分期间在基材上提供薄膜沉积。