[发明专利]用于脉冲式谐波紫外激光器的方法和装置

摘要

本发明涉及用于脉冲式谐波紫外激光器的方法和装置。一种装置用于产生相干的脉冲式紫外光，所述紫外光具有范围在1ps到1微秒之间的脉冲时间，该装置包括可见光的或近红外的频率范围中的一个或多个源激光器。该装置还包括一个或多个FC级，这一个或多个FC级中的至少一者包括非线性FC器件以及一个或多个光学元件。所述光学元件包括：反射器、聚焦元件、偏振控制光学器件、波长分离器或光纤光学元件。FC器件包括碳酸钙镁石型硼酸铝复盐非线性光学材料，该材料构造成产生具有190到350nm之间波长的FC光，该非线性光学材料由在190到350nm的波长范围上大于70％的光学透射率来表征。

主权项

一种用于产生相干的脉冲式紫外光的装置，所述紫外光具有范围在1ps到1μs之间的脉冲时间，所述装置包括：一个或多个源激光器，其具有可见光的或近红外的频率范围内的光输出；以及一个或多个频率转换级，所述一个或多个频率转换级中的至少之一包括非线性频率转换器件以及一个或多个光学元件，所述光学元件包括：反射器、聚焦元件、偏振控制光学器件、波长分离器或光纤光学元件；其中，所述频率转换器件包括构造成产生具有190到350nm之间的波长、经过频率转换的光的碳酸钙镁石型硼酸铝复盐非线性光学材料，所述碳酸钙镁石型硼酸铝复盐非线性光学材料具有由RAl3B4O12给出的组成，并且其特征在于在190到350nm的波长范围上大于75％的光学透射率，其中R包括元素{Sc、La、Y、Lu}中的一种或多种。