[发明专利]耐热性树脂前体及使用其的感光性树脂组合物

摘要

提供一种碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂分子中不含卤素原子，灵敏度高，以相同曝光量、相同显影时间形成图案时的膜厚余量宽，能够用半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38％TMAH水溶液)进行显影，可溶于γ-丁内酯，且适用于感光性树脂组合物。提供一种树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构。{式中，X₁表示不含卤素原子的4价有机基团，并且Z₁表示下述通式(2)所示的2价有机基团(式中，L₁、L₂和L₃分别独立地表示氢原子或甲基，并且L₄表示氢原子、甲基或羟基。)}

主权项

1.一种树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构，[化学式1]式中，X₁表示不含卤素原子的4价有机基团，并且Z₁表示下述通式(2)所示的2价有机基团，[化学式2]式中，L₁、L₂和L₃分别独立地表示氢原子或甲基，并且L₄表示氢原子、甲基或羟基。