[发明专利]透明导电膜及其制造方法有效
申请号: | 200880112109.7 | 申请日: | 2008-10-10 |
公开(公告)号: | CN101821819A | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 久慈俊郎;千叶雅史;本城贵充;小户田小一郎 | 申请(专利权)人: | 学校法人东海大学;爱世古奈诺中部股份有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;C23C14/08;C23C14/34;H01B13/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 冯雅;胡烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的透明导电膜是包含镁,选自碳、硅和硼的至少1种元素(A),氧和氢的膜。该透明导电膜可通过例如下述方法制造:使用包含镁的靶和包含选自碳、硅和硼的至少1种元素(A)的靶,在基板上形成包含镁和该元素(A)的膜,将该膜保持于含水气氛中。 | ||
搜索关键词: | 透明 导电 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种透明导电膜,其特征在于,包含镁,选自碳、硅和硼的至少1种元素(A),氧,氢。
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