[发明专利]硅制造装置和方法无效
| 申请号： | 200880113052.2 | 申请日： | 2008-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN101835710A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 武内喜则;榊大介;大桥忠;松村尚 | 申请（专利权）人： | 木野科技太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/033 | 分类号： | C01B33/033 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;庞东成 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅制造装置，其具有反应管(10)、锌供给管(30、30’)、锌投入部(40A、40B)、硅化合物供给管(50、50A、50B、50C、50c、54、57、90)和加热炉(20)；所述反应管用于使锌和硅化合物反应；所述锌供给管具有对锌进行加热、生成锌气体的加热部和向反应管内吐出锌气体而进行锌气体的供给的锌吐出部；所述锌投入部用于将锌投入到锌供给管内；所述硅化合物供给管具有硅化合物吐出部，该硅化合物吐出部用于将硅化合物气体向反应管内吐出而进行硅化合物气体的供给，使得硅化合物气体在反应管内从下方向上方流动；所述加热炉通过被设置在反应管的外方而划分出加热区域(α)，将反应管的一部分、加热部和锌吐出部设置在加热区域内进行加热，使得流通锌气体和硅化合物气体的反应管内的温度分布为反应管的中心轴(C)侧比反应管的侧周面侧低。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种硅制造装置，其具有：反应管，该反应管直立设置在铅直方向，并在铅直方向上具有中心轴，用于使锌与硅化合物反应；锌供给管，该锌供给管具有对锌进行加热而生成锌气体的加热部和将锌气体吐出到所述反应管内以供给锌气体的锌吐出部；锌投入部，该锌投入部用于将锌投入到所述锌供给管内；硅化合物供给管，该硅化合物供给管具有硅化合物吐出部，该硅化合物吐出部用于将硅化合物气体吐出到所述反应管内以供给硅化合物气体，使得硅化合物气体在所述反应管内从下方流到上方；和加热炉，该加热炉被设置在所述反应管的外方而划分出加热区域，将所述反应管的一部分、所述加热部和所述锌吐出部设置在所述加热区域内进行加热，使得流通锌气体和硅化合物气体的所述反应管内的温度分布为所述反应管的所述中心轴侧比所述反应管的侧周面侧低。
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