[发明专利]极性聚二甲基硅氧烷模型、模型制造方法以及使用该模型用于图案转印的方法无效
| 申请号： | 200880113806.4 | 申请日： | 2008-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101842745A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;布莱恩·哈克尼斯;迈克尔·斯坦格;林载雄 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;C08L83/12;C08L83/04;B41C3/04 |
| 代理公司： | 北京市德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 孙征;陆鑫 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种方法，包括步骤：(I)制造固化的硅酮产物，以及(II)以图案化技术使用固化的硅酮产物。固化的硅酮产物是(A)硅酮固化封装与(B)具有聚环氧烷烃官能团和反应官能团的极性添加剂的反应产物。该方法在软光刻应用中是有用的。 | ||
| 搜索关键词： | 极性 聚二甲基硅氧烷 模型 制造 方法 以及 使用 用于 图案 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：(i)用转印介质填充模型；(ii)使固化的硅酮产物与所述转移介质接触，使得所述转印介质被转印到所述固化的硅酮产物上，其中，所述硅化硅酮产物是可固化的硅酮组合物的反应产物，所述可固化的硅酮组合物包括：任选地(I)聚有机硅氧烷，每个分子平均具有至少两个不饱和有机基团，任选地(II)有机氢聚硅氧烷，条件为存在组分(I)和组分(II)中的至少一个，(III)氢化硅烷化反应催化剂，以及(IV)极性添加剂，包括选自不饱和有机基团和硅酮结合氢原子的聚环氧烷烃官能团和反应官能团，条件为当不存在组分(I)时，组分(IV)的反应官能团包括不饱和有机基团，以及当不不存在组分(II)时，组分(IV)的反应官能团包括硅酮结合氢原子；以及(iii)使所述固化的硅酮产物与基底接触，从而将所述转印介质转印到所述基底。
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