[发明专利]检查装置在审
| 申请号： | 200880114314.7 | 申请日： | 2008-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102239403A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | M·希尔普;J·齐默尔曼;A·齐茨曼 | 申请（专利权）人： | 齐默尔曼和席尔普搬运技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;梁冰 |
| 地址： | 德国雷*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检查接触敏感的平面材料或者工件，例如半导体工业的晶片、太阳能电池、玻璃、FPD基片或者生物传感器的生物活性基片以及具有接触敏感的弯曲表面的材料的装置，其中，所述检查装置具有：承载体(1)，其用于在承载体(1)的顶面上承载材料(3)；至少一个振动发生器，其与所述承载体(1)连接，其中，所述振动发生器的振动频率和幅度选择得要使得所述承载体(1)上的材料(3)保持悬浮；和至少一个光学传感器(4)，其中所述承载体(1)由透光的材料构成，并且所述光学传感器(4)设置在所述承载体(1)的下方。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种检查装置，具有：‑承载体(1)，其用于在承载体(1)的顶面上承载材料(3)；‑至少一个振动发生器，其与所述承载体(1)连接，其中，所述振动发生器的振动频率和幅度选择得要使得所述承载体(1)上的材料(3)保持悬浮；和‑至少一个光学传感器；其中‑所述承载体(1)由透光的材料构成；和‑所述光学传感器设置在所述承载体(1)的下方。
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