[发明专利]利用定量测量电弧事件的概率性模型进行电弧探测的宽带采样应用有效
| 申请号： | 200880114415.4 | 申请日： | 2008-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101843178A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 戴维·J·库莫 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;G01R29/00;H01H9/30;H01J23/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 罗正云;王琦 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于等离子体发生系统的电弧探测系统，包括：射频(RF)传感器，该RF传感器基于与等离子体室相连通的(RF)电源信号的电特性产生相应的第一信号和第二信号。相关模块基于所述第一信号和所述第二信号产生电弧探测信号。所述电弧探测信号指示所述等离子体室中是否正在发生电弧，并且该电弧探测信号被用来改变所述RF电源信号的特征以熄灭所述电弧。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 定量 测量 电弧 事件 概率 模型 进行 探测 宽带 采样 应用 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体发生系统的电弧探测系统，包括：射频(RF)传感器，基于与等离子体室相连通的RF电源信号的电特性产生相应的第一信号和第二信号；以及分析模块，基于所述第一信号和所述第二信号产生电弧探测信号，并且基于所述第一信号和所述第二信号确定所述电弧的估计能量，其中所述电弧探测信号指示所述等离子体室中是否正在发生电弧，并且该电弧探测信号被用来改变所述RF电源信号的特征以熄灭所述电弧。
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