[发明专利]叠层装置、叠层装置用的加热板、以及制造叠层装置用的加热板的制造方法无效
| 申请号： | 200880114992.3 | 申请日： | 2008-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN101848802A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 笠原昌人;中村伸;武井邦夫;井口孝幸;细萱佳典 | 申请（专利权）人： | 日清纺控股公司;日本电热株式会社 |
| 主分类号： | B29C65/20 | 分类号： | B29C65/20;B29C65/02;B29L9/00;H01L31/042 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 使在叠层工序时，将加热板温度准确容易地控制在目标温度。本发明的叠层装置，其特征在于：该叠层装置具有通过按压部件隔开的上处理室和下处理室，在该下处理室所设的加热板(122)上配置被加工物，使上述下处理室为真空并向上述上处理室导入大气，以上述加热板(122)和上述按压部件来夹压由上述加热板(122)加热的上述被加工物进行叠层加工；上述加热板(122)具有在背面设置有收容槽(63)的加热板本体(61)、和被埋设在上述收容槽(63)中的护套式加热管(62)；使上述收容槽(63)及上述护套式加热管(62)的至少一方变形，来使上述护套式加热管(62)的外周面与上述收容槽(63)的内周面发生面接触。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 加热 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种叠层装置，该叠层装置具有通过按压部件隔开的上处理室和下处理室，在该下处理室所设的加热板上配置被加工物，使上述下处理室为真空并向上述上处理室导入大气，以上述加热板和上述按压部件来夹压由上述加热板加热的上述被加工物进行叠层，其特征在于：上述加热板具有：背面设有收容槽的加热板本体、和埋设在上述收容槽中的护套式加热管；上述收容槽及上述护套式加热管的至少一方发生变形，使上述护套式加热管的外周面与上述收容槽的内周面发生面接触。
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